Pre-aligner:中文名:視覺(jué)尋邊機,晶圓預定位系統視覺(jué)版、晶圓校準器,本設備實(shí)現高精度高效率的6-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊(缺口)的預定位,服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運需求。我們的視覺(jué)尋邊機,定中心的精度是01mm以?xún)?,定Notch精度是±0.35度,定Flat精度是±0.35度,適用于,透明,半透明,非透明的缺角,平邊,多邊形等晶圓片。
主要特點(diǎn):
1.適用于半導體生產(chǎn)設備、檢測設備的晶圓位置預校準;
2.非接觸式預定位晶圓;
3.兼容SEMI標準 150~300mm晶圓&透明晶圓(中心無(wú)鏤空);
4.兼容SEMI標準Notch/ Flat;
5.兼容透明晶圓(D款);
6.可定中心及找Mark(Flat Edge/Notch)標志;
7.讀碼位置:6-12寸可背面讀刻號,6寸以下僅正面讀刻號;
8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;
9.SEMI S2認證
主要配置:
?PC視覺(jué)系統
廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設備有限公司的這套視覺(jué)尋邊機,有其特色功能配置和特點(diǎn),能很好的滿(mǎn)足現在許多工廠(chǎng)在實(shí)現交互操作的需求,具有很大的市場(chǎng)空間。