Load Port：中文名：晶圓裝卸機/晶圓載入機，是廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設備有限公司自主研發(fā)的一套設備系統，Load Port被安裝在EFEM* 前（設備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來(lái)作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠(chǎng)接口模塊； Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現交互操作性，無(wú)縫互換性和易于配置；Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）與所有手動(dòng)或通過(guò)AMHS車(chē)輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開(kāi)式裝運箱（FOSB）兼容；在搬運過(guò)程中用來(lái)保持wafer的潔凈度。

廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設備有限公司的Load Port晶圓裝卸機，完成了適用于中國市場(chǎng)的設計、組裝、調試。擁有來(lái)自于日本、中國、國內頂級科研院所及豐富半導體設備制造經(jīng)驗的技術(shù)團隊組成，共同致力于被國外壟斷的關(guān)鍵零部件的自主研發(fā)，解決卡脖子問(wèn)題。蚨祺Load Port裝卸器均為自主品牌及技術(shù)，打破現有國產(chǎn)設備拼裝國外核心零部件的尷尬境地，真正實(shí)現填補國產(chǎn)零部件的空白。

Load Port晶圓裝卸機設備屬于半導體制造設備相關(guān)設備中制程晶圓傳送設備、制程間晶圓傳送設備系列，為晶圓制造設備細分領(lǐng)域，目前主要被日本和美國設備企業(yè)壟斷。蚨祺自動(dòng)化有多年設備大廠(chǎng)業(yè)績(jì)經(jīng)驗，對搬運系統設備有豐富的研發(fā)，設計，制造及維修經(jīng)驗。

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）有以下主要特點(diǎn)：

1.適用卡塞規格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；

2.放置標準(Mounting): SEMI E63；

3.開(kāi)啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；

4.平臺高度標準(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；

5.內置凸出檢測；

6.RFID自動(dòng)識別；

7.操作安全防護報警；

8.封閉式作業(yè)環(huán)境;

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）的主要配置：

載臺移載單元；

自動(dòng)開(kāi)蓋單元；

RFID讀取單元；

安全防護系統；

運動(dòng)控制系統；

模塊化設計。

廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設備有限公司，主要經(jīng)營(yíng)范圍為L(cháng)CD、半導體行業(yè)自動(dòng)化方案實(shí)施，視覺(jué)與光學(xué)檢測設備研發(fā)與制造，產(chǎn)品覆蓋晶Pre-Aligner/晶圓預定位系統/晶圓校準器、Load Port/晶圓裝卸機/晶圓載入機、LCD、點(diǎn)膠設備、老化設備，檢測設備、自動(dòng)上下料設備、半導體EFEM設備，非標客制化設備等。公司成立于2014年,注冊資本2000萬(wàn)元。廠(chǎng)房面積總共3500㎡，其中潔凈車(chē)間1500㎡，加工中心1000㎡，辦公區域1000㎡，是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷(xiāo)售和服務(wù)為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。

廈門(mén)市級高新技術(shù)企業(yè)

國家高新技術(shù)企業(yè)

FANUC智能機器人代理

廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化以客戶(hù)為中心，秉承客戶(hù)滿(mǎn)意、技術(shù)過(guò)硬、品質(zhì)至上的原則，以專(zhuān)業(yè)的技術(shù)優(yōu)勢為客戶(hù)解決生 產(chǎn)中的工藝難題.憑借卓越的研發(fā),生產(chǎn)能力，高速反應能力及優(yōu)質(zhì)的服務(wù)而在客戶(hù)中形成良好的口碑及贊譽(yù)，公 司擁有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)研發(fā)團隊，積累了多年的設備研究成果和豐富的自動(dòng)化制造經(jīng)驗。目前，本公司自主研發(fā)已經(jīng) 獲得8項實(shí)用新型專(zhuān)利證書(shū)和19項軟件著(zhù)作權。