Load Port被安裝在EFEM* 前（設備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來(lái)作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠(chǎng)接口模塊； 支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現交互操作性，無(wú)縫互換性和易于配置；與所有手動(dòng)或通過(guò)AMHS車(chē)輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開(kāi)式裝運箱（FOSB）兼容；在搬運過(guò)程中用來(lái)保持wafer的潔凈度。

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）的主要特點(diǎn)

1. 適用卡塞規格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；
   2.放置標準(Mounting): SEMI E63；
   3.開(kāi)啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；
   4.平臺高度標準(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；
   5.內置凸出檢測；
   6.RFID自動(dòng)識別；
   7.操作安全防護報警；
   8.封閉式作業(yè)環(huán)境;

   9.支持semie84協(xié)議功能

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）的主要配置
載臺移載單元；
自動(dòng)開(kāi)蓋單元；
RFID讀取單元；
安全防護系統；
運動(dòng)控制系統；
模塊化設計；

增肌了沖氮氣保護功能；