Load Port被安裝在EFEM* 前(設備前端模塊:Equipment Front End Module),用來(lái)作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口;用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠(chǎng)接口模塊; 支持卓越的可靠性和超凈性能;最大程度地實(shí)現交互操作性,無(wú)縫互換性和易于配置;與所有手動(dòng)或通過(guò)AMHS車(chē)輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開(kāi)式裝運箱(FOSB)兼容;在搬運過(guò)程中用來(lái)保持wafer的潔凈度。
?Load Port(晶圓裝卸機/晶圓載入機)的主要特點(diǎn)
適用卡塞規格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31;
2.放置標準(Mounting): SEMI E63;
3.開(kāi)啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ;
4.平臺高度標準(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63;
5.內置凸出檢測;
6.RFID自動(dòng)識別;
7.操作安全防護報警;
8.封閉式作業(yè)環(huán)境;
9.支持semie84協(xié)議功能
?Load Port(晶圓裝卸機/晶圓載入機)的主要配置
載臺移載單元;
自動(dòng)開(kāi)蓋單元;
RFID讀取單元;
安全防護系統;
運動(dòng)控制系統;
模塊化設計;
增肌了沖氮氣保護功能;