晶圓校準器，又名晶圓預定位系統，英文Pre-aligner，本設備可實(shí)現高精度高效率的4-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊（缺口）的預定位，服務(wù)于晶圓Wafer的傳送搬運需求。

?晶圓校準器的主要特點(diǎn)：
1.適用于半導體生產(chǎn)設備、檢測設備的晶圓位置預校準；
2.非接觸式預定位晶圓；
3.兼容SEMI標準 100~300mm晶圓&透明晶圓（中心無(wú)鏤空）；
4.兼容SEMI標準Notch/ Flat；
5.兼容透明晶圓（選配）；
6.可定中心及找Mark標志；
7.讀碼位置：8-12寸可背面讀刻號，6寸以下僅正面讀刻號；
8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;
9.SEMI S2認證

?晶圓校準器的主要配置：
?Laser sensor
?內置模塊化步進(jìn)電機、驅動(dòng)和脈沖發(fā)生器
?串口類(lèi)型：USB串口
?模塊化設計

廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設備有限公司，主要經(jīng)營(yíng)范圍為L(cháng)CD、半導體行業(yè)自動(dòng)化方案實(shí)施，視覺(jué)與光學(xué)檢測設備研發(fā)與制造，產(chǎn)品覆蓋晶Pre-Aligner/晶圓預定位系統/晶圓校準器、Load Port/晶圓裝卸機/晶圓載入機、LCD、點(diǎn)膠設備、老化設備，檢測設備、自動(dòng)上下料設備、半導體EFEM設備，非標客制化設備等。公司成立于2014年,注冊資本2000萬(wàn)元。廠(chǎng)房面積總共3500㎡，其中潔凈車(chē)間1500㎡，加工中心1000㎡，辦公區域1000㎡，是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷(xiāo)售和服務(wù)為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。