Load Port：中文名：晶圓裝卸機/晶圓載入機，是廈門(mén)蚨祺自動(dòng)化設備有限公司自主研發(fā)的一套智能自動(dòng)化設備系統，有助于企業(yè)搬運和傳送作業(yè)。

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）有以下主要特點(diǎn)：
1.適用卡塞規格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；
2.放置標準(Mounting): SEMI E63；
3.開(kāi)啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；
4.平臺高度標準(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；
5.內置凸出檢測；
6.RFID自動(dòng)識別；
7.操作安全防護報警；
8.封閉式作業(yè)環(huán)境

?Load Port（晶圓裝卸機/晶圓載入機）的主要配置：
載臺移載單元；
自動(dòng)開(kāi)蓋單元；
RFID讀取單元；
安全防護系統；
運動(dòng)控制系統；
模塊化設計。