Load Port：中文名：晶圓裝卸機、晶圓載入機，被安裝在EFEM* 前（設備前端模塊：Equipment Front End Module)，用來(lái)作為wafer進(jìn)出EFEM的窗口；用于工具自動(dòng)化的智能且靈活的工廠(chǎng)接口模塊； 支持卓越的可靠性和超凈性能；最大程度地實(shí)現交互操作性，無(wú)縫互換性和易于配置；與所有手動(dòng)或通過(guò)AMHS車(chē)輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動(dòng)前開(kāi)式裝運箱（FOSB）兼容；在搬運過(guò)程中用來(lái)保持wafer的潔凈度。 那么蚨祺的這套自動(dòng)化設備價(jià)格為什么會(huì )相對較高呢？因為有的客戶(hù)需求為非標準化定制。
       Load Port非標化生產(chǎn)價(jià)格相對高的具體原因如下：
       1、非標自動(dòng)化設備可以依據客戶(hù)的需求來(lái)做設計，讓設備達到客戶(hù)想要的作用，在可完成的技術(shù)水平范圍內滿(mǎn)足客戶(hù)的各種要求。不同類(lèi)型客戶(hù)其工藝要求均不相同，定制制造從拿到數據--設計--出方案--采購材料--出產(chǎn)--安裝耗時(shí)會(huì )比規范自動(dòng)化設備要更長(cháng)一些。

2、非標自動(dòng)化設備更注重模塊化：由于每個(gè)使用者都可以依據自己的不同需求進(jìn)行產(chǎn)品的定制。非標自動(dòng)化設備在這方面就充分體現了其優(yōu)越性，由于只有一個(gè)模塊，所以能夠更好的發(fā)揮這個(gè)模塊的功能。